플라즈마의 기본 개념과 발생 원리부터 반도체 식각·증착 공정, 측정 및 진단, 플라즈마 소스 공학까지 폭넓게 다룬 교재다. 최신 반도체 공정 기술과 초저온 전자온도, 란다우 감쇠 등 주요 주제도 함께 살펴볼 수 있다.